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平面度测量

长度计量技术中对平面度误差的测量。平面是由直线组成的,因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时,先测出若干截面的直线度,再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。光波干涉法常利用平晶进 行,图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的,而且间距相等,只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的,但与光学平晶不平行,而且在圆周 部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等,表明被检验表面是球形的,平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍,表示平面度误差为 1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形,同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半,即得所求的平面误差为 1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列,说明被检验表面是桶形的??梢园迅缮嫱及缸魑患煅楸砻娴牡雀呦?因此可以画出该表面 的形状。这种方法仅适宜测量高光洁表面,测量面积也较小,但测量精确度很高。


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